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低電流測量套件
產(chǎn)品簡介：

LCMK-EM低電流測量套件是用于MM3A-EM微納操縱儀的低電阻、低噪音探針支架（probe holder）。它可以對導電樣品進行低電容、低電流測量，從而增強MM3A的功能。

產(chǎn)品型號：LCMK-EM

更新時間：2025-01-16

廠商性質(zhì)：代理商

訪 問 量 ：219

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產(chǎn)品介紹

LCMK-EM Low-Current Measurement Kit

LCMK-EM低電流測量套件是用于MM3A-EM微納操縱儀的低電阻、低噪音探針支架（probe holder）。它可以對導電樣品進行低電容、低電流測量，從而增強MM3A的功能。

標準鎢探針可插入LCMK-EM探針支架。三通軸電纜（Triax cable）和饋入件（feedthrough）將電信號傳輸?shù)竭m配器上，適配器適用于所有傳統(tǒng)參數(shù)分析儀（Parameter analyzer）。

LCMK低電流測量套件插件工具可快速方便地安裝到已有的MM3A-EM微機械手上。

應(yīng)用（Application）

失效分析

高K柵極材料的鑒定

EBIC/RCI分析

納米線、超薄膜等優(yōu)良材料的電特性分析

技術(shù)參數(shù)（Specification）

電流測量極限：0.2pA

絕緣漏電流：50 fA at 1 V

信號傳導電阻：0.9 Ω

最大電壓：210V

最大電流：200mA

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